為了實(shí)現(xiàn)對(duì)基于BaTiO3 薄膜的高速電光調(diào)制器波導(dǎo)精確測(cè)試，研制出了一種深背景、高截止度的濾光片，用于提高測(cè)試系統(tǒng)信噪比，排除雜光干擾。該濾光片采用雙離子束濺射的制備方法，以Nb 和SiO2 作為沉積材料，借助TFCalc 和Macleod 軟件進(jìn)行膜系設(shè)計(jì)和工藝反饋分析, 通過(guò)正交矩陣法簡(jiǎn)化了輔助離子源工藝參數(shù)的優(yōu)化過(guò)程,保證了采用優(yōu)化后的工藝制備的薄膜具有更低的吸收,利用實(shí)時(shí)標(biāo)定薄膜材料沉積速率等方法，解決了膜層厚度精確控制等問(wèn)題。制備的濾光片通帶中心波長(zhǎng)為1550.1nm，通帶寬度5.1nm，光密度在-0.1~30dB 處的波長(zhǎng)間隔為1.9 nm,滿(mǎn)足了波導(dǎo)精確測(cè)試系統(tǒng)的使用要求。
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作者
付秀華,唐昊龍,劉國(guó)軍,劉鳳娥,張靜
期刊
紅外與激光工程
年份