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采用溶膠-凝膠法制備CuxZn1 － xO 薄膜，用X 射線衍射儀、原子力顯微鏡、紫外-可見分光光度計和熒光光譜儀研究薄膜的微結(jié)構(gòu)、表面形貌、透射譜和光致發(fā)光譜，結(jié)果表明: 薄膜均呈六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)，隨著Cu 含量增加，薄膜平均晶粒尺寸先增大后減小，表面ＲMS 粗糙度先減小后增大，紫外吸收邊發(fā)生藍(lán)移，薄膜在可見光波段范圍內(nèi)的平均透過率在80%左右。未摻雜ZnO 薄膜中出現(xiàn)一個相對較弱紫光發(fā)射帶和一個很強(qiáng)的綠光發(fā)射帶，其它薄膜中出現(xiàn)一個紫光發(fā)射和一個藍(lán)光發(fā)射帶; 紫光發(fā)射歸因于導(dǎo)帶以下的局域能級與價帶之間的電子躍遷，綠光發(fā)射來自于氧空位缺陷能級與價帶之間的電子躍遷