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采用溶膠－凝膠技術(shù)，在Ｐｔ（１１１）／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制備Ｐｂ０．９７Ｌａ０．０２（Ｚｒ０．９５Ｔｉ０．０５）Ｏ３反鐵電厚膜材料，研究了單步和多步退火工藝對(duì)反鐵電厚膜結(jié)構(gòu)及電學(xué)性能的影響。結(jié)果表明：與傳統(tǒng)的單步退火方式相比，多步退火工藝制備的反鐵電厚膜材料晶粒尺寸較大，結(jié)構(gòu)致密性好，室溫
下反鐵電態(tài)更穩(wěn)定，具有良好的擇優(yōu)取向度（１００）、較高的介電常數(shù)（達(dá)５２９）和飽和極化強(qiáng)度（達(dá)４２μＣ／ｃｍ２）。其反鐵電－鐵電和鐵電－反鐵電的相變電場(chǎng)強(qiáng)度分別為１９８和８９?。耄郑悖?，反鐵電－鐵電相變電流密度達(dá)２×１０－５　Ａ／ｃｍ２，多次退火工藝可提高反鐵電厚膜的成膜質(zhì)量。