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氮化碳因預(yù)言具有超金剛石硬度、高熱穩(wěn)定性及優(yōu)異的摩擦磨損性能，在刀具涂層的應(yīng)用領(lǐng)域具有巨大的潛力，引起了世界上科研工作者的廣泛關(guān)注。本文以cF +N +H：+Ar為反應(yīng)氣體，通過直流等離子體噴射法(DC Plasma Jet CVD)，在si[100]基底上以金剛石薄膜為過渡層，成功制備了氮化碳涂層。利用掃描隧道顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜(Raman)等現(xiàn)代理化測試手段，對(duì)所制備涂層的表面形貌、成分結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征和分析。研究結(jié)果表明：所制備的涂層中金剛石過渡層表面生長了線度約300—600nm 的C N 晶粒，為亞微米級(jí)別，晶形較為清晰，呈現(xiàn)不規(guī)整的柱狀，樣品中主要含有 一C N 與[3-c，N ，涂層中N的含量為9．8％。