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3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES)是一種常用的表面修飾劑,通過化學(xué)鍵合的方式覆蓋在硅結(jié)構(gòu)表面形成APTES膜層,用以鏈接功能性生物分子。本文基于平面波導(dǎo)生物傳感器器件的研究,通過對結(jié)構(gòu)表面膜層的物理化學(xué)特性進行分析,對實驗方案進行優(yōu)化,降低表面微粗糙度,提升生物分子膜層的活性。文中在相同的實驗環(huán)境下,將APTES分別溶于PBS、乙醇、甲苯溶液,進行APTES分子膜的生成。通過原子力掃描顯微鏡(AFM)、接觸角測試儀、X-射線光譜儀(XPS)對不同樣品表面微粗糙度(RMS)、接觸角、成分等物理化學(xué)特性進行分析,確定應(yīng)用于光學(xué)生物傳感器器件APTES表面修飾的最佳配劑,為提高平面波導(dǎo)生物傳感器的靈敏度提供了理論支持。