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利用陰極離子鍍法在TiC基金屬陶瓷刀具上制備了AlCrN涂層,通過掃描電鏡觀察了表面形貌,并用原子力顯微鏡分析了三維表面微觀形貌,獲得表面粗糙度相關(guān)評定參數(shù),同時對高度、層次、粒度、功率譜密度等進行了分析。結(jié)果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基體為85.8 nm,AlCrN涂層為175 nm,AlCrN涂層與TiC基體表面相對平整,陰極離子鍍對表面粗糙度影響較小;AlCrN涂層表面高度值相對分散,支承系數(shù)大;AlCrN涂層平均顆粒直徑1432 nm,而TiC基體為1460 nm,根據(jù)Hall-Petch關(guān)系,AlCrN涂層的顯微硬度遠遠高于TiC基體的顯微硬度;AlCrN涂層和TiC基體功率譜分布無規(guī)律,材料表面均表現(xiàn)為各向異性。