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利用堿性體系拋光液研究了十二烷基苯磺酸鈉(SDBS)緩蝕劑對鎂合金化學(xué)機械拋光過程和拋光效果的影響。采用能譜儀XPS分析緩蝕劑在鎂合金表面形成的膜層成分,并通過腐蝕試驗、電化學(xué)分析和磨粒粒徑測試的手段分析了拋光液中SDBS在鎂合金化學(xué)機械拋光過程中的作用機理。結(jié)果表明:當(dāng)SDBS含量為1.0%時,拋光液中SDBS可有效抑制鎂合金在拋光過程中的腐蝕,緩釋效果可達91%。SDBS與鎂合金通過縮合反應(yīng)生成保護膜,減小拋光后的表面粗糙度以及點蝕的出現(xiàn),提高表面質(zhì)量;另外,SDBS對Al2O3拋光磨粒具有一定的吸附作用。當(dāng)SDBS含量為1.0%時,能有效抑制Al2O3磨粒團聚,進而對拋光效果產(chǎn)生一定的影響,減少拋光過程中劃痕的產(chǎn)生。