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利用溶膠凝膠法(Sol-Gel)以非晶玻璃為襯底生成氧化鋅薄膜,探究了退火溫度對氧化鋅薄膜電學性能、透光性以及微觀結構的影響。利用掃描探針顯微鏡(AFM)分析發(fā)現(xiàn)樣品顆?；境汕蛐?粒徑大小在15~80nm以內(nèi),比表面積較大:利用四探針儀對其電阻率進行測定,發(fā)現(xiàn)其最低電阻率在6.5×10-4Ω·m;利用雙光束分光計對其進行了測定分析,發(fā)現(xiàn)在可見光范圍(420nm~700nm)內(nèi),薄膜的透射率能到達82%。