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采用溶膠-凝膠法在玻璃基體表面制備了經(jīng)300℃,400℃和500℃燒結(jié)熱處理的ZrO2薄膜。利用X射線衍射儀、原子力顯微鏡和納米壓痕儀研究了燒結(jié)溫度對(duì)ZrO2薄膜表面形貌和力學(xué)性能的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,隨著燒結(jié)溫度的增加,ZrO2的晶體結(jié)構(gòu)由少量的單斜晶相逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)閱涡本嗪退姆骄嗟幕旌舷?。薄膜表面形貌逐漸改善,薄膜的表面粗糙度和顆粒度依次減小,薄膜的表面粗糙度分別為10.5nm、7.2nm和5.6nm,ZrO2的粒徑分別為188nm、153nm和130nm。ZrO2薄膜的彈性模量和硬度都顯著提高,薄膜的彈性模量分別為89.6GPa、114.2GPa和128.9GPa,薄膜的硬度分別為7.6GPa、10.3GPa和15.1GPa。