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室溫下,采用射頻磁控濺射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制備Ag層厚度分別為12 nm和15 nm兩組對(duì)稱結(jié)構(gòu)摻鋁氧化鋅/銀/摻鋁氧化鋅(AZO/Ag/AZO)透明導(dǎo)電薄膜,研究了Ag層和AZO層厚度對(duì)薄膜光電性能的影響。結(jié)果表明:3層薄膜的可見光區(qū)平均透光率達(dá)到了80%,550 nm處的最高透過(guò)率達(dá)到了88%,方塊電阻小于5Ω/□。Ag層厚度是影響AZO/Ag/AZO薄膜光電性能的主要因素,AZO層的厚度對(duì)薄膜光學(xué)性能影響較大。