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室溫下在玻璃和聚酰亞胺兩種不同襯底上,采用射頻磁控濺射法濺射摻鋁氧化鋅(AZO)粉末靶和固體Ag靶,制備了兩組AZO/Ag/AZO 3層透明導(dǎo)電薄膜,研究了AZO層厚度對不同襯底3層膜結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。結(jié)果表明:不同襯底的兩組AZO/Ag/AZO薄膜均為多晶膜。當Ag層厚度不變時,隨著AZO層厚度的增加,兩組薄膜電學性能變化不大,透射峰向長波方向移動。玻璃和PI襯底上制備的AZO(30 nm)/Ag(14 nm)/AZO(30 nm)薄膜,在550 nm處的透光率分別為85%和70%,方塊電阻分別為2.6Ω/□和4.6Ω/□。