? ? ? ?靜電力顯微鏡在接觸模式下，探針針尖與樣品之間的相互作用力是兩者相互接觸的原子中電子間存在的庫侖排斥力以及探針針尖和樣品間產生的靜電力，但是因為接觸模式下的原子力具有著主要作用，可以控制探針的針尖跟樣品之間原子力恒定測量樣品的表面形貌。同時，在探針和樣品間施加交流可以調整電壓信號，微懸臂開始受迫振動，也就是說，靜電力顯微鏡的探針在接觸模式下仍然在小振幅振動的。由于這種振動信號是可以測量的，所以即使在很強的原子力的作用下，使用鎖相放大技術( Lock-in Techniques )仍然能夠檢測到微弱的靜電力信號。如果添加到探針針尖上的電壓信號可調來控制探針針尖上的電荷量，繼而在針探針尖及樣品間產生附加可調的靜電力，就能夠同時得到樣品的表面形貌以及其他靜電作用的信息，比如表面電勢或者表面電荷密度。
? ? ? 這種測量模式能夠降低表面形貌對電場測量的影響，可以獲得較為穩(wěn)定，高分辨率形貌與樣品電性質圖像，但是因為探針在樣品表面上的移動以及探針針尖表面間的粘附力，有可能會使樣品產生較大的變形，同時表面的摩擦力也可能對探針針尖造成較大的損害，從而在圖像數據中可能產生假象。
? ? ?S Watanabe等人利用表面電荷理論計算了懸臂探針針尖和樣品間的靜電力以及其作用力梯度。因為靜電力屬于長程作用力，不僅作用于針尖，而且極大的作用于懸臂部分，所以接觸式的靜電力測量受測量探針形狀的影響較大，相反把針尖距離樣品表面50~200nm處，采用非接觸式的靜電力梯度測量探針的形狀就可以忽略不計。
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