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對"非探針超分辨光學(xué)顯微鏡"對光學(xué)元件表面提出的超光滑要 求,發(fā)展了一種新穎的用于超光滑表面加工的經(jīng)濟(jì)裝置.該裝置為僅用一個單軸驅(qū)動工作盤,而隨動聚四氟乙烯拋光盤的擬浴式拋光系統(tǒng).加工件的原子力顯微鏡 AFM測試結(jié)果表明該裝置加工出的光學(xué)表面的粗糙度可優(yōu)于1 nmSq值,滿足納米分辨率光學(xué)測量系統(tǒng)對元件的要求及探測單個細(xì)胞或微生物樣本時對載片的表面要求.