對(duì)"非探針超分辨光學(xué)顯微鏡"對(duì)光學(xué)元件表面提出的超光滑要 求,發(fā)展了一種新穎的用于超光滑表面加工的經(jīng)濟(jì)裝置.該裝置為僅用一個(gè)單軸驅(qū)動(dòng)工作盤(pán),而隨動(dòng)聚四氟乙烯拋光盤(pán)的擬浴式拋光系統(tǒng).加工件的原子力顯微鏡 AFM測(cè)試結(jié)果表明該裝置加工出的光學(xué)表面的粗糙度可優(yōu)于1 nmSq值,滿足納米分辨率光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)元件的要求及探測(cè)單個(gè)細(xì)胞或微生物樣本時(shí)對(duì)載片的表面要求.
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作者
葉梅,葉虎年,張思團(tuán)
期刊
實(shí)驗(yàn)室科學(xué)
年份