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采用直流反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在３０４不銹鋼表面沉積ＴｉＣ／ａ－Ｃ∶Ｈ 納米復(fù)合薄膜，并研究了ＴｉＣ／ａ－Ｃ∶Ｈ納米復(fù)合薄膜對(duì)不銹鋼耐腐蝕性能的影響。通過(guò)掃描電子顯微鏡（ＳＥＭ）和原子力顯微鏡（ＡＦＭ）觀察，結(jié)果表明薄膜表面光滑且薄膜結(jié)構(gòu)均勻致密。Ｒａｍａｎ光譜和ＸＲＤ測(cè)試結(jié)果表明，薄膜具有納米晶ＴｉＣ鑲嵌非晶碳基質(zhì)的典型納米復(fù)合微結(jié)構(gòu)。通過(guò)測(cè)量薄膜的靜態(tài)接觸角分析薄膜的潤(rùn)濕性，不銹鋼表面沉積ＴｉＣ／ａ－Ｃ∶Ｈ 納米復(fù)合薄膜后疏水性能明顯提高，水接觸角高達(dá)９８°。電化學(xué)腐蝕測(cè)試結(jié)果表明，不銹鋼表面沉積ＴｉＣ／ａ－Ｃ∶Ｈ 納米復(fù)合薄膜體系在質(zhì)量分?jǐn)?shù)為３．５％ 的ＮａＣｌ溶液中自腐蝕電位約為－０．０９Ｖ，腐蝕電流密度為２．４３×１０－８ Ａ·ｃｍ－２，與無(wú)薄膜防護(hù)的裸露不銹鋼相比，其耐腐蝕性能得到明顯改善。