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 掃描模式問題是長期困擾包括掃描隧道顯微鏡(STM) ,原子力顯微鏡(AFM) 在內(nèi)
的掃描探針顯微鏡(SPM) 測量精度和速度的關(guān)鍵問題。理論與實驗均表明:“符合掃描”消除了原
有掃描模式帶來的測量誤差。這種模式還使測量速度提高了約70 % ,不僅可以使現(xiàn)在的觀察型
STM 的性能得到提高,而更重要的是對SPM 從觀察型向計量型的轉(zhuǎn)變在掃描模式方面提供了保
障,對原子量級信息讀取速度和精度的提高也具有重要意義。

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作者

傅星,胡小唐.

期刊

半導(dǎo)體光電,20(3),195-197(1999)

年份