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介紹了原子力顯微鏡(AFM)的原理及特點。用AFM 對光盤上記錄信息用的凹坑結(jié)構(gòu)進(jìn)行了三維檢測。所得結(jié)論表明A F M 在信息存儲介質(zhì)檢測過程中具有獨特的優(yōu)勢。

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作者

劉萬里,孫大許,馬強,閆勇剛.

期刊

現(xiàn)代科學(xué)儀器,5,51-53(2005)

年份