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在室溫條件下,采用磁控濺射法在PET紡粘非織造布上制備了納米Ag薄膜,用原子力顯微鏡(AFM)表征磁控濺射真空室壓強(qiáng)對(duì)納米Ag薄膜結(jié)晶狀態(tài)、粒徑的影響;研究了濺射工藝參數(shù)與薄膜導(dǎo)電性能之間的關(guān)系.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在該實(shí)驗(yàn)范圍內(nèi)濺射速率隨壓強(qiáng)的增大先增大后減小;薄膜方塊電阻的變化規(guī)律與濺射速率的變化規(guī)律一致;薄膜顆粒直徑隨壓強(qiáng)的增大先增大后減小,但在壓強(qiáng)大于1.5Pa時(shí),薄膜顆粒直徑隨壓強(qiáng)變化未呈現(xiàn)明顯的變化規(guī)律.