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在不同的基臺(tái)脈沖負(fù)偏壓下,利用微波-ECR等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)在單晶硅表面制備了類金剛石薄膜,利用傅立葉變換紅外吸收光譜和原子力顯微鏡對薄膜的結(jié)構(gòu)和...