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用X射線衍射儀檢測(cè)薄膜的結(jié)構(gòu);用分光光度計(jì)測(cè)量薄膜的透射率和反射率,采用擬合正入射透射譜數(shù)據(jù)的方法計(jì)算薄膜的厚度;用Van der Pauw方法測(cè)量薄膜表面電阻和...