研磨液中的化學添加劑對于藍寶石晶圓的高效超光滑表面加工至關(guān)重要.文中開展了固結(jié)磨料研磨藍寶石晶圓的實驗研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液對材料去除速率和表面形貌的影響規(guī)律,采用微/納米壓痕技術(shù)和光電子能譜剖析了工件表層的物理化學性能.結(jié)果表明:當研磨液中含有5%的乙二醇時,工件表面變質(zhì)層深度約為3.90 nm,遠優(yōu)于去離子水研磨液的工件變質(zhì)層深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促進了表面變質(zhì)層的生成,有利于藍寶石工件研磨效率的提高和表面質(zhì)量的改善.
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作者
王建彬;朱永偉;居志蘭;徐俊;左敦穩(wěn).
期刊
華南理工大學學報(自然科學版),11,25-30,39(2015)
年份