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三硼酸鋰（ＬＢＯ）晶體是優(yōu)良的非線性光學(xué)晶體材料，拋光后晶體表面水份殘留導(dǎo)致晶體潮解，影響器件的使用性能。采用非水基拋光液固結(jié)磨料拋光ＬＢＯ晶體，降低水含量，研究非水基拋光液中去離子水、乳酸、雙氧水等含量對(duì)材料去除率和表面粗糙度的影響，并綜合優(yōu)化得到高材料去除率和優(yōu)表面質(zhì)量的拋光液組分。研究表明，拋光液中去離子水濃度１６％、乳酸２２％、雙氧水５％為最優(yōu)拋光液組分，采用優(yōu)化的拋光液固結(jié)磨料拋光ＬＢＯ晶體的材料去除率達(dá)到３９２ｎｍ／ｍｉｎ，表面粗糙度為０．６２ｎｍ，實(shí)現(xiàn)了ＬＢＯ晶體表面的高效高質(zhì)量拋光，同時(shí)避免了拋光過(guò)程中水的大量使用。