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OPEN SYS系列全開放的顯微測試加工平臺
開放式掃描探針顯微鏡

? opensys_0.jpg

* 圖片僅供參考。根據(jù)用戶的具體需求,儀器的外觀可能會不同。

??? 多功能開放式掃描探針顯微鏡(SPM)系統(tǒng)(簡稱“開放系統(tǒng)”)是本原在十多年的技術(shù)積累和經(jīng)驗(yàn)提煉的基礎(chǔ)上所推出的換代產(chǎn)品。開放系統(tǒng)使科學(xué)工作者能夠?qū)x器進(jìn)行必要的監(jiān)控或改造,以滿足自身科學(xué)研究的特殊需要。用戶既可以把它當(dāng)作一臺檢測儀器,又可以把它當(dāng)作進(jìn)行非常規(guī)試驗(yàn)和二次開發(fā)的實(shí)驗(yàn)平臺。

??? 與國外或本原以往研製的產(chǎn)品相比,開放系統(tǒng)最顯著的特點(diǎn)就是其多功能性和開放性。

? OpenSys 系列掃描探針顯微鏡(SPM)主要性能介紹

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單一探頭的多功能平臺結(jié)構(gòu),集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能,工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等

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獨(dú)特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智慧識別技術(shù),全數(shù)位控制的參數(shù)設(shè)置和採集

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數(shù)位控制反饋回路,16-bit分辨的A/DD/A

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採用單一的外觸發(fā)時基和快取記憶體,實(shí)現(xiàn)多通道信號的高速同步採集

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採用基於TCP/IP協(xié)定的高速通信介面,實(shí)現(xiàn)雙處理器——雙作業(yè)系統(tǒng)的協(xié)同工作和大容量高速資料交換,使系統(tǒng)具有極大的開放性

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系統(tǒng)內(nèi)部預(yù)留多個可供輸入/輸出信號的處理通道,具有方便的擴(kuò)展能力

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系統(tǒng)外部預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)開放介面,滿足用戶對儀器進(jìn)行二次開發(fā)的需求

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具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

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具有圖形刻蝕模式和向量掃描模式的納米加工技術(shù)

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具備超媒體用戶介面的納米操縱工具

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用戶控制端軟體相容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10作業(yè)系統(tǒng)

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分析處理軟體在資料類型識別方面採用固定編碼和動態(tài)編碼兩種技術(shù),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴(kuò)展性

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掃描區(qū)域多種解析度選擇及高度、對比度的即時調(diào)整,可連續(xù)採集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程

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即時定點(diǎn)測試功能

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方便的滑鼠控制掃描區(qū)域平移、剪切功能,掃描角度連續(xù)可調(diào),多種樣品傾斜度即時校正功能

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樣品粒度和粗糙自動分析功能

? 性能指標(biāo)

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解析度: STM:橫向 0.13nm? 垂直 0.01nm(以石墨定標(biāo)) ???
??????????????? AFM
:橫向 0.26nm? 垂直 0.1nm (以雲(yún)母定標(biāo))

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電流檢測靈敏度:≤10pA

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力檢測靈敏度:? 1nN

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空間定位精度:? 0.5nm

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預(yù)留輸出信號通道數(shù):6ch ??1ch±200V,5ch±10V,16-bit DAC

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預(yù)留輸入信號通道數(shù):16ch ??100kHz採樣率,16-bit ADC,帶可控低通濾波器和可控增益放大器)

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預(yù)留頻率合成輸出: 2ch??(振幅為02V;頻率為DC1000kHz,32-bit分辨)

OpenSys 系列掃描探針顯微鏡包括如下標(biāo)配或選配件

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集成STMAFMLFM等多種模式的掃描探頭 ?

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線上控制/後處理軟體

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主流配置微機(jī),預(yù)裝Windows作業(yè)系統(tǒng)

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1μm? ×? 1μm Scanner

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20μm × 20μm Scanner

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50μm × 50μm Scanner(選配)

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70μm × 70μm Scanner(選配) ?

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100μm×100μm Scanner(選配)

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光學(xué)輔助顯微系統(tǒng)(選配) ?

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可附加第二顯示器(選配)