掃描探針顯微鏡（SPM）是一種統(tǒng)稱，它是在掃描隧道顯微鏡的基礎上發(fā)展起來的新型探針顯微鏡，如靜電力顯微鏡，原子力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導顯微鏡，掃描電化學顯微鏡等都是掃描探針顯微鏡。
1、掃描探針顯微鏡無論是在化學、物理、生物、醫(yī)學還是在材料、微電子等各大領域都有著非常廣泛的應用。而且掃描探針顯微鏡的價格對比電子顯微鏡等大型儀器來說還算是較低的。
2、同其它表面分析技術相比，掃描探針顯微鏡是有著很多優(yōu)勢的，不但能夠得到高分辨率的表面成像，和其他類型的顯微鏡相比（像電子顯微鏡，光學顯微鏡），掃描探針顯微鏡它掃描成像的一個非常大的優(yōu)點就是可以成三維的樣品表面圖像，并且還可以對材料的很多不同性質進行研究。同時，掃描探針顯微鏡也正在向著更高的目標發(fā)展。它不僅要可以作為一種測量分析工具，而且還要成為一種加工工具，也將使人們有能力在極小的尺度上對物質進行改性、重組、再造。
雖然掃描隧道顯微鏡在化學中的應用研究才只有幾年，但它涉及到的范圍卻是及其廣泛的。因為掃描隧道顯微鏡的最早期研究工作是在超高真空中進行的，因此最直接的化學應用是觀察和記錄超高真空條件下金屬原子在固體表面的吸附結構。
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