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選用V_2O_5為前驅(qū)物,通過在玻璃片上鍍膜,利用高純氫作為 氣源、高純氮作為摻雜物,采用微波等離子體增強(qiáng)法,在低溫條件下合成了具有優(yōu)良熱致相變特性的氮雜二氧化釩(VO_(2-x)N_y)薄膜.經(jīng)過退火工藝 的處理,采用XRD、SEM、AFM和相變溫度測試對樣品進(jìn)行表征,結(jié)果表明:退火后VO_(2-x)N_y薄膜的表面沒有太大的變化,但是退火后樣品表 面有裂紋出現(xiàn),薄膜的晶體顆粒大小呈現(xiàn)正態(tài)分布,顆粒尺寸較均勻.退火有利于增加其純度,改善樣品結(jié)晶度,晶體尺寸長大,并且樣品的相變溫度降低,幅度約 為8℃.