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用溶膠-凝膠法在 Si(111)基片上制備N(xiāo)a摻雜ZnO薄膜,利用原子力顯微鏡(AFM)觀察薄膜的表面形貌,采用多重分形理論定量表征薄膜的AFM圖像。結(jié)果顯示:隨 著Na含量的增加,薄膜平均顆粒尺寸逐漸增大,表面RMS粗糙度從7.4 nm增大到44.4 nm,分形譜寬Δα從0.059增大到0.200,說(shuō)明薄膜表面高度分布不均勻程度逐漸增大;所有樣品的Δf值均大于零,表明薄膜表面沉積于最高峰的原子 數(shù)多于最低谷的原子數(shù)。