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探針對掃描隧道顯微鏡成像起至關重要的作用。本文分別對電化學腐蝕法自制的鎢絲探針和剪切法制得的鉑銥探針進行掃描光柵圖像比較分析。結果表明，相比鉑銥探針，鎢絲探針雖然制備繁瑣，反應條件不易控制，但是尖銳軸對稱形的鎢絲探針掃描樣品形貌更加細微，用作掃描隧道顯微鏡探針時掃描成像質量高。該研究為掃描隧道顯微鏡探針的選用提供了依據(jù)。