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本文報道與光學(xué)顯微鏡結(jié)合的原子力顯微鏡及其沖擊式微位移機構(gòu), 采用及攝像機, 可在如如范圍內(nèi)監(jiān)控微懸臂和樣品, 通過機構(gòu)可將樣品以拌的步距在范圍內(nèi)作二維移動。儀器最大掃描范圍產(chǎn)拌, 最高分辨率為納米級。文中給出了獲得的部分樣品測試結(jié)果。