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　針對(duì)一些特殊材料表面形貌的檢測(cè)需要,在原有國產(chǎn)商用激光檢測(cè)原子力顯微鏡的基礎(chǔ)上,設(shè)
計(jì)研制了適用性更廣、功能更強(qiáng)的原子顯微鏡。在不提高驅(qū)動(dòng)電壓的前提下,采用改進(jìn)的掃描管,將掃描
范圍從15μm ×15μm 提高到了50μm ×50μm;改進(jìn)了原有的微探針掃描模式,在探針上施加一驅(qū)動(dòng)的簡
諧振蕩信號(hào),使探針發(fā)生振蕩。由于存在著表面的力梯度,當(dāng)樣品與探針距離發(fā)生振蕩變化時(shí),針尖振蕩
的振幅、頻率和位相都會(huì)隨之改變。用電子信號(hào)反饋電路探測(cè)此變化,就能得到樣品表面形貌的信息。