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stm是納米尺度上進(jìn)行測(cè)量的主要工具之一。反饋調(diào)節(jié)是儀器的主要環(huán)節(jié)。提高反饋控制精度和反饋控制速度是要解決的重要問題。利用模糊控制原理設(shè)計(jì)的模糊控制器在調(diào)節(jié)性能上比傳統(tǒng)的調(diào)節(jié)器精度高、速度快。試驗(yàn)表明, 這種調(diào)節(jié)方法是解決反饋控制中非線性問題比較好的方法之一。