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介紹了原子力顯微鏡(A FM ) 的原理及特點。用A FM 對光盤上記錄信息用的凹
坑結(jié)構(gòu)進行了三維檢測, 并對測量結(jié)果進行了分析。結(jié)論表明A FM 在光盤質(zhì)量檢測過程中
具有獨特的優(yōu)勢。

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作者

孫大許,劉萬里,馬強,閆勇剛.

期刊

光學(xué)儀器,27(5),3-6(2005)

年份