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采用了一種新型工藝制備ZnO薄膜。新工藝采用二步法，首先在N型Si（100）襯底上用離子束沉積濺射一層金屬Zn膜，然后通過(guò)熱氧化金屬Zn膜制備ZnO薄膜。通過(guò)X射線衍射、原子力顯微鏡對(duì)不同制備工藝下的ZnO薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)與形貌的分析比較。研究表明，Zn膜的離子束濺射沉積時(shí)間、熱氧化時(shí)間和輔助槍的離子束對(duì)熱氧化后的ZnO薄膜再轟擊處理對(duì)ZnO薄膜的結(jié)構(gòu)與形貌都會(huì)產(chǎn)生影響。