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推導出根據原子力顯微鏡測量得 到的電壓信號計算法向力和橫向力的公式,然后研究用力-距離曲線標定公式中測量系數的方法,并用幾種不同的探針和試樣測試和確定所用原子力顯微鏡的測量系 數。從測量的結果可以看到,不同探針和試樣的測量值較為接近,表明該方法可行。當原子力顯微鏡測量系統(tǒng)的光路對稱時,用本方法標定測量系數較為簡單和準 確。