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采用等離子體化學聚合,在氧化硅層表面聚合單層甲基丙烯酸縮水甘油酯（GMA）改善其脆性,提高氧化硅薄膜阻隔性能和柔韌性能的研究。通過無機氧化硅層和有機GMA層交疊沉積來研究不同沉積參數(shù)對薄膜的阻隔性能影響。紅外光譜（FTIR）分析在1030 cm^-1和1730 cm^-1處出現(xiàn)硅氧和羰基特征峰表明沉積薄膜為氧化硅和GMA。通過透氧性能測試（OTR）表明,沉積薄膜疊合順序為氧化硅/GMA/氧化硅并且疊合六層時阻氧性最好,OTR為0.125（mL/m^2·24 h）（原膜為130（mL/m^2·24 h））。表面形貌分析表明薄膜由表面粗糙度較高的氧化硅層和粗糙度較低的有機GMA混合疊加在一起,并進一步從表面形貌角度說明三層疊合時,薄膜OTR較好的原因。按照GB/T 10004-1998標準,采用CPP為內(nèi)封層,濕式復合工藝實驗表明,復合薄膜的熱封層良好、機械性能好。