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采用直流電、單脈沖和雙脈沖制備納米晶鈷-鎳(Co-Ni)合金薄膜。用原子力顯微鏡(AFM)和表面輪廓儀分析薄膜表面形貌與表面粗糙度,用MV-2T顯微硬度計(jì)測(cè)試薄膜的硬度,用球盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)的評(píng)價(jià)Co-Ni合金薄膜的摩擦磨損性能,用掃描電子顯微鏡分析Co-Ni合金薄膜的摩擦磨損機(jī)制。研究發(fā)現(xiàn),電沉積技術(shù)顯著影響納米Co-Ni薄膜的表面形貌、硬度和摩擦磨損性能與機(jī)制。直流電制備的Co-Ni合金薄膜柱狀晶較粗,硬度較小,但其表面粗糙度較小;雙脈沖制備的納米Co-Ni合金薄膜柱狀晶較細(xì),硬度最高,且表面粗糙度最小。雙脈沖制備的納米晶CoNi合金薄膜的磨損率比直流電制備的降低了近一個(gè)數(shù)量級(jí),直流電制備的Co-Ni合金的磨損機(jī)制為嚴(yán)重黏著磨損和磨粒磨損,而雙脈沖制備的Co-Ni合金薄膜表現(xiàn)為輕微的疲勞磨損和磨粒磨損。