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硫化鋅晶體是一種重要的紅外光學(xué)材料,在紅外成像、導(dǎo)彈制導(dǎo)、紅外對(duì)抗等紅外技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。拋光液能夠與工件及拋光墊發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響工件表面質(zhì)量和材料去除率。實(shí)驗(yàn)采用乙二胺、氫氧化鈉、檸檬酸、鹽酸分別配制不同的酸堿性拋光液,研究拋光液酸堿性對(duì)固結(jié)磨料拋光硫化鋅晶體材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：酸性拋光液拋光的材料去除率高于堿性拋光液;檸檬酸拋光液可同時(shí)獲得優(yōu)表面質(zhì)量和高加工效率,拋光后的晶體表面粗糙度Sa值為4.22 nm,材料去除率為437 nm/min。