原子力顯微鏡是表征薄膜性質(zhì)的重要手段之一，它不僅是一臺(tái)顯微鏡，更是一個(gè)多功能的微納測(cè)量與操縱平臺(tái)。
當(dāng)原子力顯微鏡探針的針尖與樣品比較接近的時(shí)候，在針尖原子與樣品表面原子之間相互作用力的影響下，懸臂梁會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)引起反射光的位置發(fā)生改變；當(dāng)探針在樣品表面掃過的時(shí)候，光電檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)記錄激光的偏轉(zhuǎn)量（懸臂梁的偏轉(zhuǎn)量）并將其反饋給系統(tǒng)，最終通過信號(hào)放大器等將其轉(zhuǎn)換成樣品的表面形貌特征。
原子力顯微鏡最核心的部件就是原子力探針，原子力顯微鏡探針的質(zhì)量（是否磨損或者是被污染）會(huì)直接決定掃描結(jié)果的真實(shí)性。當(dāng)原子力顯微鏡探針出現(xiàn)磨損的時(shí)候，掃描得到的樣品形貌圖像會(huì)出現(xiàn)大量規(guī)則的三角形；當(dāng)原子力顯微鏡探針磨損嚴(yán)重或者是被污染的時(shí)候，形貌圖像中會(huì)出現(xiàn)規(guī)則的重影圖案。這些因探針磨損而出現(xiàn)三角形或者是重影圖案被稱為偽跡，當(dāng)形貌圖像中出現(xiàn)偽跡時(shí)需要及時(shí)的更換探針，否則測(cè)量得到的數(shù)據(jù)不可信。
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