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　討論了掃描探針顯微鏡(SPM) 的應(yīng)用領(lǐng)域和SPM 的發(fā)展現(xiàn)狀,重點(diǎn)探討了國(guó)產(chǎn)SPM 應(yīng)用于信息產(chǎn)業(yè)、能源產(chǎn)業(yè)以及航空航天等工業(yè)領(lǐng)域中高新技術(shù)產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)的方法、存在的問(wèn)題、以及應(yīng)用的前景.