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在KYKY- 1000B 型掃描電子顯微鏡(SEM) 上所開發(fā)的與其聯(lián)用的袖珍型掃描隧道顯微鏡(STM) 主要
有四個部分: (1) 減震阻尼裝置, (2) 隧道探針, (3) 探針掃描與逼近裝置, (4) 電子控制與圖象采集系統(tǒng)。它的分辨率
約為1 nm。并用它觀察了半導(dǎo)體光柵與硅上金膜的細微結(jié)構(gòu)。