掃描模式問題是長(zhǎng)期困擾包括掃描隧道顯微鏡(STM) ,原子力顯微鏡(AFM) 在內(nèi)
的掃描探針顯微鏡(SPM) 測(cè)量精度和速度的關(guān)鍵問題。理論與實(shí)驗(yàn)均表明:“符合掃描”消除了原
有掃描模式帶來(lái)的測(cè)量誤差。這種模式還使測(cè)量速度提高了約70 % ,不僅可以使現(xiàn)在的觀察型
STM 的性能得到提高,而更重要的是對(duì)SPM 從觀察型向計(jì)量型的轉(zhuǎn)變?cè)趻呙枘Ｊ椒矫嫣峁┝吮?br />
障,對(duì)原子量級(jí)信息讀取速度和精度的提高也具有重要意義。
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作者
傅星,胡小唐.
期刊
半導(dǎo)體光電,20(3),195-197(1999)
年份