采用溶膠凝膠法在叉指型微陣列電極表面制備了TiO2納米薄膜,并對薄膜形貌、厚度以及溶膠粒子尺寸進(jìn)行了表征,研究了溫度、紫外光照對納米TiO2薄膜微陣列電極的電阻的影響。結(jié)果表明,溶膠粒子平均粒徑在9nm,單次提拉制備的TiO2納米薄膜膜厚為120nm,兩次提拉薄膜厚度200nm,納米TiO2薄膜微陣列電極電阻呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性,大氣環(huán)境中,紫外光照下納米薄膜微電極的低溫電阻較無光照時明顯減小,表現(xiàn)出紫外光敏感特性。隨著溫度的升高,紫外光照下的電阻與無光照時電阻差值逐步減小,表明溫度對納米薄膜電阻有更大的影響
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作者
林志東,呂進(jìn)玉,曾文
期刊
第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集
年份