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針對(duì)原子力顯微鏡(AFM)在高速掃描下成像誤差大的缺點(diǎn),提出了一種基于壓電掃描管動(dòng)態(tài)特 性的改進(jìn)成像方法,并對(duì)這種成像方法的性能進(jìn)行了理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。...