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納米阻抗顯微鏡 (Nanoscale impedance microscopy,NIM)能夠測量材料表面的納米微區(qū)阻抗性質(zhì),已經(jīng)成為納米材料表征的重要工具,得到越來越多的應(yīng)用;但其應(yīng)用目前僅局限于實驗室 范圍,而國內(nèi)尚未有納米阻抗顯微鏡研究的文獻報道。本文主要介紹納米阻抗顯微鏡的基本原理及其儀器的研制。以國內(nèi)外現(xiàn)有的掃描探針顯微鏡儀器為基礎(chǔ),研制 出了兩套不同的納米阻抗顯微鏡樣機,并率先實現(xiàn)了這種技術(shù)的商品化,還利用該技術(shù)開展了氧化鋅多晶陶瓷材料的應(yīng)用研究。