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在玻璃襯底上依次采用化學(xué)水浴法(CBD)和真空蒸發(fā)工藝沉積CdS和CdTe薄膜,并在不同條件下進(jìn)行熱處理,制備了CdTe/CdS異質(zhì)結(jié)復(fù)合薄膜。利用XRD、SEM、AFM和UV-VIS透射光譜對薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌、剖面及光學(xué)性能進(jìn)行了研究。結(jié)果表明:以玻璃襯底和CdS薄膜作為襯底沉積的CdTe多晶薄膜結(jié)構(gòu)相似,均具有(1l1)面擇優(yōu)取向;不同條件下制備的薄膜致密且粒徑均勻,隨著熱處理溫度的升高,薄膜晶粒增大明顯,并出現(xiàn)CdS層減薄的現(xiàn)象,但薄膜的粗糙度也隨之增大;CdCl2氛圍下熱處理后,薄膜粒徑增大,粗糙度明顯降低,其(111)晶面的擇優(yōu)取向進(jìn)一步增強(qiáng),且透過率下降,這對于提高太陽電池的光譜響應(yīng)是非常有利的。