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采用磁控濺射技術(shù)在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上制備金屬褶皺結(jié)構(gòu),有效地解決了柔性結(jié)構(gòu)發(fā)生形變時電阻值發(fā)生較大改變甚至失效的問題。研究了不同濺射時間對金屬褶皺結(jié)構(gòu)周期及高度的影響,并對金屬褶皺結(jié)構(gòu)的電學(xué)性能進(jìn)行測試。利用原子力顯微鏡分析表征柔性襯底上金屬褶皺結(jié)構(gòu)的表面形貌,利用數(shù)字萬用表進(jìn)行樣品表面電阻值的測量。測試結(jié)果表明:隨著濺射時間的增加,金屬褶皺結(jié)構(gòu)的周期和高度都呈增大趨勢,電阻增長率變得緩慢,對信號的響應(yīng)程度也越來越小。